【化工儀器網(wǎng) 行業(yè)動態(tài)】激光干涉測量指以激光為光源，以激光波長或激光頻率為基準(zhǔn)，利用光的干涉原理進(jìn)行精密測量的方法，具有非接觸測量、靈敏度高和度高的優(yōu)點(diǎn)。激光干涉測量儀器一般用于位移、長度、角度、面基、介質(zhì)折射率的變化等方面的測量，常用的干涉儀有邁克爾遜干涉儀、馬赫-澤德干涉儀、菲索干涉儀、泰曼-格林干涉儀等 　　激光干涉測量是實(shí)現(xiàn)超精密測控和微納尺度測量的有效手段之一，在許多領(lǐng)域都有極其重要的作用。近日，在國家重大科技專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”等項目支持下，清華大學(xué)長聘教授、精密儀器系學(xué)術(shù)委員會主任李巖研究團(tuán)隊完成的“高測速多軸高分辨率激光干涉測量技術(shù)與儀器”項目，突破一系列關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，形成了測量新方法、系統(tǒng)及儀器。 　　據(jù)李主任介紹，項目實(shí)現(xiàn)了從干涉儀組件、信號探測解調(diào)到多自由度探測方案設(shè)計的全鏈條自研開發(fā)的高測速、多軸大量程、高分辨率激光干涉測量系統(tǒng)。目前，該項目團(tuán)隊所研發(fā)的光刻機(jī)用雙頻激光干涉儀系統(tǒng)已經(jīng)應(yīng)用到了我國自研光刻機(jī)工件臺樣機(jī)研發(fā)過程中，累計應(yīng)用50余臺套。該研究成果滿足了光刻機(jī)雙工件臺樣機(jī)的精密測量需求，減輕了對國外干涉儀的依賴，降低了其產(chǎn)品對我國出口限制所造成的研發(fā)風(fēng)險，對保障我國光刻機(jī)雙工件臺研發(fā)的順利實(shí)施起到了積極作用。 　　此外，項目開發(fā)的亞納米分辨率可溯源外差干涉儀，也應(yīng)用到了激光多維測量系統(tǒng)研究與開發(fā)的比對檢定研究中。亞納米分辨率可溯源外差干涉儀能夠找出了激光多維測量系統(tǒng)非線性誤差原因，并用專門的電路加以校正，提高了相關(guān)單位激光多維測量系統(tǒng)的性能。開發(fā)團(tuán)隊所提出的可溯源干涉測量新方法，為摩爾單位采用阿伏伽德羅常數(shù)重新定義作出了貢獻(xiàn)。 　　值得一提的還有，在過去，我國沒有掌握研發(fā)激光干涉測量儀器的核心技術(shù)，但該項目的成功一舉打破了外國對我國激光干涉測量儀器的限制和壟斷，豐富了我國激光干涉測量理論與技術(shù)，這意味著往后我國裝備和儀器的研發(fā)將擁有性能穩(wěn)定且不受制于外國的測量及溯源能力。總而言之，該研究成果具有非常重要的技術(shù)、經(jīng)濟(jì)和社會效益。 　　激光干涉測量技術(shù)是保障可溯源納米測量的重要途徑，也是推動我國邁向計量強(qiáng)國、制造強(qiáng)國的關(guān)鍵計量測試技術(shù)。相信隨著研發(fā)團(tuán)隊的繼續(xù)深入研究，我國的激光干涉測量技術(shù)還會不斷進(jìn)步，為我國帶來更多的效益。